日本山武CMS0020BSRN21010C热式气体质量流量计采用微流量传感器μF单元技术，直接安装在流体管路中，实现低至2mL/min的精准测量，量程比高达100:1。该设备适用于空气、氮气、氧气等13种非腐蚀性气体介质，耐压1.5MPa，工作温度范围-10℃至+60℃，测量精度达±2%RD，重复性误差仅0.5%FS。其核心优势在于直接质量流量测量技术，不受温度、压力波动影响，且通过管内壁测量方式将压力损失控制在500Pa以下。
该流量计具备多功能集成设计，支持瞬时流量、累计流量双显示，并提供模拟输出、累计脉冲输出及RS-485通信功能。其事件输出接口可连接外部控制系统，实现流量超限报警或工艺联锁，面板采用LED状态指示灯与防误触按键设计，符合工业级防护标准。模块化结构支持35mm导轨快速安装，维护时无需断电即可更换传感器单元，弹簧储能操作机构使分合闸操作力矩降至1.5N·m，显著降低人力操作强度。
CMS0020BSRN21010C主要应用于半导体制造、化工流程控制等精密领域，典型场景包括：高纯气体配比系统（精度±0.5%）、实验室气体流量监测（支持0.1Hz频率切换）、环保排放计量（兼容物联网远程校准）等。其低压力损失特性特别适合压缩空气管网监测，而抗电磁干扰设计可满足变电站SF6气体泄漏检测需求。2025年升级型号通过10kV浪涌测试，成为新能源电池产线惰性气体保护的优选设备。
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