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日本山武CMS气体质量流量计的工作原理?主要基于?热式测量原理?。具体来说，该流量计利用传感器表面加热后与流过传感器的气体之间的传热作用来测量质量流量。当气体通过热丝或热膜时，这个加热物体会失去一定的热量，且热量损失与气体流量成正比。通过测量热丝或热膜的加热功率和温度变化，可以计算出气体的质量流量。此外，山武CMS气体质量流量计还采用了山武公司研发的微流量传感器μF单元，这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比，保证了测量精度高、量程比大，且成本低?
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